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pv-6060微观意义上的非接触光电晶片厚度、TTV和电阻率测量模块
高稳定性在线太阳能硅片测量模块，用于过程控制和质量保证
pv-6060微观意义上是一种高精度计量模块提供太阳能硅片厚度测量无与伦比的吞吐量和稳定性，晶片的总厚度变化（TTV）和硅片电阻率。所有测量都是完全非接触的实时模拟输出，无晶圆破损的高通量。设计简单集成到自动化晶圆运输的pv-6060用OEM太阳能硅片制造在线检测和分选系统。
非接触式太阳能硅片测量
太阳能硅片的厚度和TTV–1或3测量轨道
太阳能硅片的电阻率
太阳能晶片P或N导电类型（可选）
效益
先进的高稳定性，低噪声电容传感器设计亚微米分辨率和非常重复厚度测量
非接触式电容传感器提供真正的晶圆表面测量-晶圆表面光洁度对厚度测量精度没有影响。
5毫米直径传感器用于厚度测量，提供高空间分辨率和接近晶片边缘的测量。
模块化设计——OEM的灵活配置，为易于集成到现有晶圆传输系统和传送带系统而设计。 |
